SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards werden zur Größenkalibrierung und Überwachung von Scanning Surface Inspection Systems (SSIS) verwendet. Die unten aufgeführten Partikelgrößen entsprechen den von i… geforderten Kalibrierpartikelgrößen.
SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards, die bei der Größenkalibrierung und Überwachung von Scanning Surface Inspection Systems (SSIS) verwendet werden. Die nachstehenden Partikelgrößen entsprechen den von Geräteherstellern geforderten Kalibrierungspartikelgrößen. Sie sollten regelmäßige Kalibrierungsprüfungen und wöchentliche Größen- und Anzahlüberwachungen durchführen, um sicherzustellen, dass Ihr Wafer-Inspektionsscanner mit Scannern an anderen Standorten vergleichbar ist. Alle Polystyrol-Mikrokügelchen werden in entionisiertem, gefiltertem Wasser in einem Flaschenvolumen von 50 ml bei einer Konzentration von 3 × 10 E8- oder 1 × 10 E10-Partikeln pro ml suspendiert. Mit * gekennzeichnete Größen ähneln NIST-SRM-Partikeln bei diesem Durchmesser. Der Brechungsindex beträgt 1.59 bei 589 nm (25 °C) für alle nachstehenden Polystyrol-Mikrokügelchen. Jede Flasche ist 12 Monate haltbar und wird mit einem Kalibrierungs- und Rückverfolgbarkeitszertifikat nach NIST geliefert.
Indem Sie SURF-CAL, NIST-rückverfolgbare PSL (Polystyrol-Latex)-Kugeln auf blankem Silizium und Muster-Wafern ablagern, können Sie regelmäßige Größenkalibrierungsprüfungen an Ihren SSIS-Werkzeugen von KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon durchführen und Ihren Wafer-Inspektionsscanner mit Scannern von vergleichen andere Orte. Sie können auch die Leistung Ihres SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsprozesses bewerten. Alle Produkte werden in entionisiertem, gefiltertem Wasser (DI-Wasser) in 50-ml-Flaschen mit einer Konzentration von 3 x 10 e10-Partikeln/ml oder 1 x 10 e10-Partikeln/ml suspendiert. Diese Surf-Cal-Partikelgrößenstandards sind Polystyrol-Mikrokügelchen, die durch Differential Mobility Analyzer (DMA) oder andere Größenausschlusstechniken größenmäßig bestimmt wurden.
Artikelnummer |
Konzentration Anzahl/ml |
Teilchendurchmesser |
Größenverteilung |
Preis pro 50 ml Flasche |
| APPD-047 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.047 µm | 0.004μm |
495.00 € |
| APPD-047B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.047 µm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-064 | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.064 µm | 0.003μm |
495.00 € |
| APPD-064B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.064 µm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-083 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.083 µm | 0.004μm |
495.00 € |
| AP PD-083B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.083 µm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-092 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.092 µm | 0.004μm |
495.00 € |
| AP PD-092B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.092 µm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-100 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.100 µm | 0.003μm |
495.00 € Fordern Sie ein Angebot an oder fügen Sie es zur Bestellung hinzu |
| AP PD-100B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.100 µm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-125 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.126 µm | 0.003μm |
495.00 € |
| AP PD-125B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.126 µm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-155 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.155 µm | 0.003μm |
495.00 € |
| AP PD-155B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.155 µm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-200 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.202 µm | 0.004μm |
495.00 € |
| AP PD-200B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.202 µm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-204 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.204 µm | 0.004μm |
495.00 € |
| AP PD-204B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.204 µm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-215 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.220 µm | 0.003μm |
495.00 € |
| AP PD-215B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.220 µm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-305 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.304 µm | 0.004μm |
495.00 € |
| AP PD-305B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.304 µm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-365 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.360 µm | 0.005μm |
495.00 € |
| AP PD-365B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.360 µm | 0.005μm |
$1,930.00 |
| APPD-500 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.498 µm | 0.006μm |
495.00 € |
| AP PD-500B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.498 µm | 0.006μm |
$1,930.00 |
| APPD-809 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.809 µm | 0.006μm |
495.00 € |
| AP PD-809B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.809 µm | 0.006μm |
$1,930.00 |
| APPD-802 | 3 x 108 Partikel/ml | 0.802 µm | 0.009μm |
495.00 € |
| AP PD-802B | 1 x 1010 Partikel/ml | 0.802 µm | 0.009μm |
$1,930.00 |
| APPD1100 | 3 x 108 Partikel/ml | 1.112 µm | 0.011μm |
495.00 € |
| APPD1100B | 1 x 1010 Partikel/ml | 1.112 µm | 0.011μm |
$1,930.00 |
| APPD1600 | 3 x 108 Partikel/ml | 1.59 µm | 0.016μm | 495.00 € |
| APPD2000 | 3 x 108 Partikel/ml | 2.01 µm | 0.019μm | 495.00 € |
| APPD3000 | 3 x 108 Partikel/ml | 3.04 µm | 0.026μm | 495.00 € |
Um die Rückführbarkeit auf NIST-Standards zu gewährleisten, wurden die zertifizierten Durchmesser dieser Produkte mittels Transmissionselektronen- oder Lichtmikroskopie von NIST-Standardreferenzmaterialien (2) übertragen. Die Unsicherheit wurde gemäß NIST Technical Note 1297, Ausgabe 1994 „Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results“ (4) berechnet. Die angegebene Unsicherheit ist die erweiterte Unsicherheit mit einem Erweiterungsfaktor von zwei (K=2). Der Peakdurchmesser wurde anhand des Bereichs von ca. ± 2σ der Partikelgrößenverteilung berechnet. Die Größenverteilung wurde als Standardabweichung (SDS) des gesamten Peaks berechnet. Der Variationskoeffizient (CV) ist eine Standardabweichung, ausgedrückt als Prozentsatz des Peakdurchmessers. Die Halbwertsbreite (FWHM) wurde als Verteilung bei halber Peakhöhe, ausgedrückt als Prozentsatz des Peakdurchmessers, berechnet.
1. „Nationaler Technologiefahrplan für Halbleiter“, Halbleiterindustrieverband (1999)
2. SD Duke und EB Layendecker, „Interne Standardmethode zur Größenkalibrierung von sphärischen Submikronpartikeln mittels Elektronenmikroskopie“, Fine Particle Society (1988)
3. SEMI M52 - Leitfaden zur Spezifikation von Oberflächeninspektionssystemen für Siliziumwafer der 130-nm-Technologiegeneration.
4. Barry N. Taylor und Chris E. Kuyatt, „Richtlinien zur Bewertung und Angabe der Unsicherheit von NIST-Messergebnissen“. NIST Technical Note 1297, Ausgabe 1994, September 1994.
| Artikelnummer | APPD-047, APPD-047B, APPD-064, APPD-064B, APPD-083, AP PD-083B, AP PD-092, AP PD-092B, AP PD-100, AP PD-100B, AP PD-125, AP PD-125B, AP PD-155, AP PD-155B, AP PD-200, AP PD-200B, AP PD-204, AP PD-204B, AP PD-215, AP PD-215B, AP PD-305, AP PD-305B, AP PD-365, AP PD-365B, AP PD-500, AP PD-500B, AP PD-809, AP PD-809B, AP PD-802, AP PD-802B, AP PD1100, AP PD1100B, AP PD1600, AP PD2000, AP PD3000 |
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