PSL-Kugeln, Polystyrollatex, Surf-Cal-Partikelgrößenstandards

SURF-CAL-PSL-Kugeln vereinfachen die Vorbereitung von Kalibrierungswafern in Ihrer Einrichtung, indem vorgemischte PSL-Kugeln in einer 50ml-Flasche bereitgestellt werden. Die Partikelgrößen entsprechen den von den Geräteherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen. Die Partikelkonzentrationen sind 1 x 10 e10-Partikel pro ml. Die Hersteller von SEMI haben die Verwendung bestimmter Partikelgrößen für die Kalibrierung von Scan-Oberflächen-Inspektionssystemen gefordert, die auch als Wafer-Inspektionswerkzeuge bezeichnet werden. In Zusammenarbeit mit Instrumentenherstellern erfüllen die SURF-CAL PSL-Kugeln die SEMI-Standards M52 (3) und M53-Richtlinien. Verfügbare Größen sind Knoten mit kritischer Größe, wie in der International Technology Roadmap für Halbleiter, ITRS (1), definiert.

Durch Ablegen von SURF-CAL, NIST-rückverfolgbaren PSL-Kugeln (Polystyrollatex) auf bloßen Silizium- und Musterwafern können Sie regelmäßige Größenkalibrierungsprüfungen an Ihren KLA-Tencor-, Hitachi-, ADE- und Topcon-SSIS-Werkzeugen durchführen und Ihren Wafer-Inspektionsscanner mit Scannern bei vergleichen andere Standorte. Sie können auch die Leistung Ihres SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsprozesses bewerten.

Alle Produkte werden in entionisiertem, gefiltertem Wasser (DI-Wasser) in 50-ml-Flaschen mit einer Konzentration von 3 x1010-Partikeln pro ml suspendiert. Diese PSL-Kugeln wurden mit dem Differential Mobility Analyzer (DMA) oder anderen Größenausschlusstechniken dimensioniert.

Messmethodik:

Um die Rückverfolgbarkeit von NIST sicherzustellen, wurden die zertifizierten Durchmesser dieser Produkte durch Transmissionselektronen- oder optische Mikroskopie von NIST-Standardreferenzmaterialien übertragen (2). Die Unsicherheit wurde unter Verwendung des NIST Technical Note 1297, Ausgabe 1994 „Richtlinien zur Bewertung und zum Ausdruck der Unsicherheit der NIST-Messergebnisse“ (4) berechnet. Die aufgeführte Unsicherheit ist die erweiterte Unsicherheit mit einem Abdeckungsfaktor von zwei (K = 2). Der Spitzendurchmesser wurde unter Verwendung des Bereichs von ungefähr 2 s der Teilchengrößenverteilung berechnet. Die Größenverteilung wurde als Standardabweichung (SDS) des gesamten Peaks berechnet. Der Variationskoeffizient (CV) ist eine Standardabweichung, ausgedrückt als Prozentsatz des Spitzendurchmessers. Die FWHM-Verteilung (volle Breite bei halbem Maximum) wurde als die Verteilung bei der Hälfte der Peakhöhe berechnet, ausgedrückt als Prozentsatz des Peakdurchmessers.

1. "Die nationale Technologie-Roadmap für Halbleiter", Semiconductor Industry Association (1999)

2. SD Duke und EB Layendecker, "Interne Standardmethode zur Größenkalibrierung von sphärischen Submikronpartikeln durch Elektronenmikroskopie", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Leitfaden zur Spezifikation von Oberflächeninspektionssystemen für Siliziumwafer der 130-nm-Technologiegeneration.

4. Barry N. Taylor und Chris E. Kuyatt, „Richtlinien zur Bewertung und zum Ausdruck der Unsicherheit von NIST-Messergebnissen“. NIST Technical Note 1297, Ausgabe 1994, September 1994.

 

Partikelzusammensetzung	Polystyrol-Latex, PSL-Kugeln, Partikelgrößenstandards
Konzentration	1 x 10e1010 Partikel pro ml
Teilchendichte	1.05 g / cm³
Brechungsindex	1.59 @ 589nm (25 ° C)
Füllvolumen	50 ml
Inhalt	Polystyrol-Mikrokugeln in entionisiertem, filtriertem Wasser
Verfallsdatum	≤ 12 Monate

PREISANFRAGE (Request)
ein Zitat

 

PSL-Kugeln, SURF-CAL-Partikelgrößenstandards
Produkt Teilenummer	Zertifizierter Spitzendurchmesser	Standardabweichung	Lebenslauf und FWHM	Partikel pro ml in 50 ml Volumenflasche
AP-PD-047B	47 nm	4 nm	7.5%, 17.4%	1 x 10 e10
AP-PD-064B	64 nm	3 nm	5.4%, 10.9%	1 x 10 e10
AP-PD-083B	83 nm	4 nm	4.2%. 9.6%	1 x 10 e10
AP-PD-092B	92 nm	4 nm	4.6%, 9.1%	1 x 10 e10
AP-PD-100B	100 nm	3 nm	2.6%, 5.2%	1 x 10 e10
AP-PD-125B	126 nm	3 nm	2.4%, 4.8%	1 x 10 e10
AP-PD-155B	155 nm	3 nm	1.6%, 3.7%	1 x 10 e10
AP-PD-200B	202 nm	4 nm	1.8%, 4.0%	1 x 10 e10
AP-PD-204B	204 nm	4 nm	1.8%, 3.7%	1 x 10 e10
AP PD-215B	220 nm	3 nm	1.6%, 3.3%	1 x 10 e10
AP-PD-305B	304 nm	4 nm	1.4%, 3.4%	1 x 10 e10
AP-PD-365B	360 nm	10 nm	1.3%, 2.8%	1 x 10 e10
AP-PD-500B	498 nm	6 nm	2.0%, 5.0%	1 x 10 e10
AP-PD-800B	809 nm	6 nm	0.8%, 1.8%	1 x 10 e10
AP-PD-802B	802 nm	9 nm	1.1%, 2.4%	1 x 10 e10
AP-PD-1100B	1.112 & mgr; m	11 nm	1.0%, 2.5%	1 x 10 e10
AP-PD-1600	1.59 & mgr; m	16 nm	1.0%, 2.6%	3 x 10 e8
AP-PD-2000	2.01 & mgr; m	19 nm	1.0%, 3.3%	3 x 10 e8
AP-PD-3000	3.04 & mgr; m	26 nm	0.9%, 2.7%	3 x 10 e8