Applied Physics USA
Polystyrol-Latexperlen, Partikelgrößenstandards
Applied Physics USA: PSL-Kugeln, Polystyrol-Mikrokugeln, Partikelgrößenstandards
Applied Physics Die USA bieten PSL-Kugeln und Polystyrolkügelchen als Partikelgrößenstandards für die Kalibrierung von Aerosolinstrumenten an. Wafer-Inspektionswerkzeuge wie KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE und Hitachi erfordern ebenfalls eine Größenkalibrierung, die durch die Verwendung von Polystyrol-Latexkugeln erreicht wird. PSL-Kugeln, Polystyrol-Mikrokugeln und -Kügelchen werden in Größen von 20 nm bis 10 Mikron bereitgestellt, um die Größenreaktionskurven der jeweiligen Wafer-Inspektionssysteme und Laserpartikelzähler zu kalibrieren. PSL-Kugeln von 20 nm bis etwa 5 Mikrometer werden typischerweise verwendet, um die Größenreaktion von Laserpartikelzählern zu kalibrieren. Polystyrol-Mikrokügelchen können verwendet werden, um Kalibrierungs-Wafer-Standards und Partikel-Wafer-Standards herzustellen, die verwendet werden, um die Größenreaktion von KLA-Tencor Surfscan-Werkzeugen und den älteren Tencor Surfscan-Werkzeugen zu kalibrieren
Applied Physics USA
Polystyrol-Latexperlen können telefonisch bestellt werden Applied Physics Bei (719) 428-4042.
Wafer-Inspektionssysteme, die als Scanning Surface Inspection Systems, SSIS bezeichnet werden, insbesondere von KLA-Tencor und Hitachi, werden unter Verwendung von PSL-Waferstandards kalibriert, bei denen es sich um Prime-Silicium-Wafer handelt, auf denen PSL-Kugeln in bestimmten Größen und enger Größenverteilung abgeschieden sind. Die Wafer-Inspektionswerkzeuge werden verwendet, um die Sauberkeit von 300-mm-, 200-mm-, 150-mm-Waferoberflächen zu inspizieren; blankes Silizium oder aufgebrachter Film, Waferoberfläche. Das SSIS kann die X/Y-Position der PSL-Kugeln und -Partikel identifizieren, die Größe jedes Defekts beschreiben sowie eine Gesamtpartikelzahl auf der Waferoberfläche zusammenfassen. KLA-Tencor-Waferinspektionssysteme wie Tencor 6200, 6420 und KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 und KLA-Tencor SP3 werden in der gesamten Halbleiterindustrie für diese Anwendung eingesetzt. Topcon bietet Wafer-Inspektionssysteme der Serien 3000, 5000 und 7000 an. Estek, ADE, Aeronca und Hitachi bieten auch eine Vielzahl von Wafer-Inspektionssystemen an. Nahezu jedes heute hergestellte SSIS ist jetzt in der Lage, Partikel mit einer Empfindlichkeit von 30 nm oder besser zu erkennen. PSL-Kugeln werden verwendet, um die Partikelgrößenstandards auf der Waferoberfläche darzustellen. Applied Physics bietet PSL-Kugelgrößen von 20 nm bis 160 Mikron für die Größenkalibrierung, HEPA-Filtertests usw. an. PSL-Kugeln können telefonisch bestellt werden Applied Physics Bei (719) 428-4042.
PSL-Kugeln werden mit PSL-Wafer-Abscheidungssystemen zur Herstellung von PSL-Wafer-Standards verwendet, die auch als Partikel-Wafer-Standards bezeichnet werden. In beiden Fällen wird der PSL-Wafer-Standard nach seiner Herstellung auf ein Wafer-Inspektionssystem gelegt und von einem SSIS mit einem einzelnen Laser oder einem SSIS mit zwei Lasern gescannt. Die tatsächliche PSL-Größenantwort wird mit der SSIS-Größenantwort verglichen. Wenn die beiden Peaks nicht übereinstimmen, muss der SSIS kalibriert werden. Vorgemischte, hochkonzentrierte PSL-Kugeln sind für 2300XP1-Systeme, 2300 NPT-1-Systeme, 2300NPT-2-Systeme und M2300G3-Wafer-Abscheidungssysteme.
PSL-Kugeln, 1% Konzentration.
Die vorgemischten PSL-Kugeln werden in einer 50ml-Flasche mit monodisperser Größe (1-Größenverteilung) und einer Größe von etwa 47nm bis 950nm geliefert. Diese PSL-Lösung wird direkt in den Zerstäuber oder Zerstäuberbehälter gegossen. Das Vormischen ist ein bequemer Weg, um die Polystyrol-Latexkügelchen zu kaufen, da die gesamte Verdünnung auf sehr gleichmäßige Weise durchgeführt wurde, ohne dass der Benutzer sich mit dem Mischen der Polystyrol-Latexkügelchen unter Verwendung von Becherglas, DI-Wasser, befassen muss und Ultraschallschalen. Das nicht gemischte PSL-Material wird in einer 15ml-Flasche mit monodisperser Größe (1-Größenverteilung) und üblicherweise in einer 1% -Konzentration geliefert. Diese PSL-Kugeln werden in einer Vielzahl von Größen angeboten, jedoch für unsere Zwecke von 20nm bis 4um. Das PSL-Material muss bis zur richtigen Verdünnung gemischt werden. Andernfalls ist es zu konzentriert oder zu schwach, um effektive Ergebnisse zu erzielen, wenn versucht wird, es mit einem der oben genannten PSL-Wafer-Abscheidungssysteme abzuscheiden. CleanRoom Fogger Link