PSL-Kugeln 47 nm, 50 ml Flaschenvolumen Polystyrol-Latex-Perlen

Surf-Cal, Partikelgrößenstandards, 50 ml Volumen, vorgemischt auf 1x10E8 und 1x10E10 Konzentration/ml

Name: Surf-Cal, Partikelgrößenstandards, 50 ml Volumen, vorgemischt auf 1x10E8 und 1x10E10 Konzentration/ml
Availability: InStock

SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards, die bei der Größenkalibrierung und Überwachung von Scanning Surface Inspection Systems (SSIS) verwendet werden. Die nachstehenden Partikelgrößen entsprechen den von Geräteherstellern geforderten Kalibrierungspartikelgrößen. Sie sollten regelmäßige Kalibrierungsprüfungen und wöchentliche Größen- und Anzahlüberwachungen durchführen, um sicherzustellen, dass Ihr Wafer-Inspektionsscanner mit Scannern an anderen Standorten vergleichbar ist. Alle Polystyrol-Mikrokügelchen werden in entionisiertem, gefiltertem Wasser in einem Flaschenvolumen von 50 ml bei einer Konzentration von 3 × 10 E8- oder 1 × 10 E10-Partikeln pro ml suspendiert. Mit * gekennzeichnete Größen ähneln NIST-SRM-Partikeln bei diesem Durchmesser. Der Brechungsindex beträgt 1.59 bei 589 nm (25 °C) für alle nachstehenden Polystyrol-Mikrokügelchen. Jede Flasche ist 12 Monate haltbar und wird mit einem Kalibrierungs- und Rückverfolgbarkeitszertifikat nach NIST geliefert.

Indem Sie SURF-CAL, NIST-rückverfolgbare PSL (Polystyrol-Latex)-Kugeln auf blankem Silizium und Muster-Wafern ablagern, können Sie regelmäßige Größenkalibrierungsprüfungen an Ihren SSIS-Werkzeugen von KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon durchführen und Ihren Wafer-Inspektionsscanner mit Scannern von vergleichen andere Orte. Sie können auch die Leistung Ihres SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsprozesses bewerten. Alle Produkte werden in entionisiertem, gefiltertem Wasser (DI-Wasser) in 50-ml-Flaschen mit einer Konzentration von 3 x 10 e10-Partikeln/ml oder 1 x 10 e10-Partikeln/ml suspendiert. Diese Surf-Cal-Partikelgrößenstandards sind Polystyrol-Mikrokügelchen, die durch Differential Mobility Analyzer (DMA) oder andere Größenausschlusstechniken größenmäßig bestimmt wurden.

Kategorien: PSL-Kugel Stichworte: 1x10e10, 1x10e8, 50 ml, und, Konzentration, Teilchen, vorgemischt, PSL Latexperlen Partikel Standardgröße, Größe, Kugel, Normen, surf-kal,, Volumen,

Beschreibung

Artikelnummer	Konzentration Anzahl/ml	Teilchendurchmesser	Größenverteilung	Preis pro 50 ml Flasche
APPD-047	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.047 & mgr; m	0.004μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-047B	1 x 10¹⁰Partikel/ml	0.047 & mgr; m	0.004μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-064	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.064 & mgr; m	0.003μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-064B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.064 & mgr; m	0.003μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-083	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.083 & mgr; m	0.004μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-083B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.083 & mgr; m	0.004μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-092	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.092 & mgr; m	0.004μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-092B	1 x 10¹⁰Partikel/ml	0.092 & mgr; m	0.004μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-100*	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.100 & mgr; m	0.003μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-100B*	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.100 & mgr; m	0.003μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-125	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.126 & mgr; m	0.003μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-125B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.126 & mgr; m	0.003μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-155	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.155 & mgr; m	0.003μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-155B	1 x 10¹⁰Partikel/ml	0.155 & mgr; m	0.003μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-200	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.202 & mgr; m	0.004μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-200B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.202 & mgr; m	0.004μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-204	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.204 & mgr; m	0.004μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-204B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.204 & mgr; m	0.004μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-215	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.220 & mgr; m	0.003μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-215B	1 x 10¹⁰Partikel/ml	0.220 & mgr; m	0.003μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-305	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.304 & mgr; m	0.004μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-305B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.304 & mgr; m	0.004μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-365	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.360 & mgr; m	0.005μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-365B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.360 & mgr; m	0.005μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-500	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.498 & mgr; m	0.006μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-500B	1 x 10¹⁰Partikel/ml	0.498 & mgr; m	0.006μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-800	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.809 & mgr; m	0.006μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-800B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.809 & mgr; m	0.006μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD-802	3 x 10⁸ Partikel/ml	0.802 & mgr; m	0.009μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
AP PD-802B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	0.802 & mgr; m	0.009μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD1100	3 x 10⁸ Partikel/ml	1.112 & mgr; m	0.011μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
APPD1100B	1 x 10¹⁰ Partikel/ml	1.112 & mgr; m	0.011μm	1495.00 € IN DEN WARENKORB
APPD1600	3 x 10⁸ Partikel/ml	1.59 & mgr; m	0.016μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
APPD2000	3 x 10⁸ Partikel/ml	2.01 & mgr; m	0.019μm	295.00 € IN DEN WARENKORB
APPD3000	3 x 10⁸ Partikel/ml	3.04 & mgr; m	0.026μm	295.00 € IN DEN WARENKORB

Messmethodik:

Um die NIST-Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten, wurden die zertifizierten Durchmesser dieser Produkte durch Transmissionselektronenmikroskopie oder optische Mikroskopie von NIST-Standardreferenzmaterialien übertragen (2). Die Unsicherheit wurde anhand der NIST Technical Note 1297, Ausgabe 1994, „Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results“ (4) berechnet. Die aufgeführte Unsicherheit ist die erweiterte Unsicherheit mit einem Erweiterungsfaktor von zwei (K=2). Der Peakdurchmesser wurde unter Verwendung von ungefähr dem Bereich von ± 2 s der Partikelgrößenverteilung berechnet. Die Größenverteilung wurde als Standardabweichung (SDS) des gesamten Peaks berechnet. Der Variationskoeffizient (CV) ist eine Standardabweichung, ausgedrückt als Prozentsatz des Peakdurchmessers. Die FWHM-Verteilung (volle Breite bei halbem Maximum) wurde als die Verteilung bei halber Peakhöhe, ausgedrückt als Prozentsatz des Peakdurchmessers, berechnet.

1. „The National Technology Roadmap for Semiconductors“, Verband der Halbleiterindustrie (1999)

2. SD Duke und EB Layendecker, „Internal Standard Method for Size Calibration of Sub-Micron Spherical Particles by Electron Microscopy“, Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Leitfaden zur Spezifikation von Oberflächeninspektionssystemen für Siliziumwafer der 130-nm-Technologiegeneration.

4. Barry N. Taylor und Chris E. Kuyatt, „Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results“. NIST Technical Note 1297, Ausgabe 1994, September 1994.

Surf-Cal, Partikelgrößenstandards, 50 ml Volumen, vorgemischt auf 1x10E8 und 1x10E10 Konzentration/ml

Artikelnummer

Konzentration Anzahl/ml

Teilchendurchmesser

Größenverteilung

Preis pro 50 ml Flasche

Messmethodik:

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