Kalibrierung der Partikelgröße des NIST-Standardreferenzmaterials
NIST, Standard-Referenzmaterial, Polystyrol-Mikrokugeln und -Kügelchen, die in Kalibrierungs- und Kontaminationswaferstandards verwendet werden, um die Größengenauigkeit von KLA- und KLA-Tencor-Wafer-Inspektionssystemen zu überprüfen.
Beschreibung
NIST SRM, Partikelgrößenstandards, PSL-Kugeln, Größenkalibrierung
NIST-SRM-Partikelgrößenstandards sind die weltweit bekannten Kalibrierungsstandards für alle Anwendungen, die einen NIST-SRM-Größenstandard (Größenreferenzmaterial) mit äußerst genauer Dimensionierung, engen Größenspitzen und engen Standardabweichungen erfordern. Sie können für die Kalibrierung und Validierung einer Vielzahl von Geräten zur Partikelgrößenbestimmung verwendet werden, darunter Lichtstreuungsinstrumente, Elektronenmikroskope und Differentialmobilitätsanalysatoren. Sie sind besonders wichtig für die Kalibrierung von Oberflächen-Scan-Inspektionssystemen, mit denen Fehler auf Siliziumwafern erkannt und charakterisiert werden. Genaue Referenzpartikel sind erforderlich, um die Abtastsysteme für eine kostengünstige Waferproduktion mit hohem Durchsatz zu entwickeln und weiterzuentwickeln, die für die Miniaturisierung von Bauelementen von entscheidender Bedeutung ist. Die Referenzpartikel können auch zur Zufuhr von monodispersen Partikeln (Single Size Peak) zum Testen von Aerosolinstrumenten verwendet werden und eignen sich zur Untersuchung der Aerosolkinetik und zur Bewertung der Reaktion des Partikeldetektors.
Der zertifizierte Wert für den modalen Durchmesser:
60 nm SRM 1964 Polystyrol-Mikrokugeln beträgt 60.39 nm mit einer erweiterten Unsicherheit von ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A Polystyrol-Mikrokugeln beträgt 101.8 nm mit einer erweiterten Unsicherheit von ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 Polystyrol-Mikrokugeln beträgt 269 nm mit einer erweiterten Unsicherheit von ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 Polystyrol-Mikrokugeln beträgt 895 nm mit einer erweiterten Unsicherheit von ± 5 nm.
Die Messungen wurden unter Verwendung einer differentiellen Mobilitätsanalyse durchgeführt und sind auf die He-Ne-Laserwellenlänge in Luft, 632.807 nm, zurückzuführen, die in Bezug auf den grundlegenden Längenstandard bestimmt wurde.
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Die Kugeldurchmesser werden mit linearen Abmessungen kalibriert, die vom NIST berechnet werden. Anstelle von unregelmäßig geformten Partikeln werden Kugeln verwendet, um die Reaktion von Laserscannern, die empfindlich auf geformte Partikel reagieren, zu minimieren. Die Standards werden als wässrige Suspensionen in 5-Milliliter-Tropfflaschen (ml) verpackt. Die Partikelkonzentrationen sind auf leichte Dispergierbarkeit und Kolloidstabilität optimiert. Die Kugeln haben eine Dichte von 1.05 g / cm3 und einen Brechungsindex von 1.59 @ 589 nm, gemessen bei 25 Grad Celsius.
Jede Packung enthält ein Zertifikat zur Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit nach NIST, das eine Beschreibung der Kalibrierungsmethode und ihrer Unsicherheit sowie eine Tabelle mit chemischen und physikalischen Eigenschaften enthält. Ein Sicherheitsdatenblatt mit Anweisungen zur Handhabung und Entsorgung ist ebenfalls erhältlich. PSL-Flaschen sind für einen bequemen technischen Service und Support nach dem Verkauf mit einer Chargennummer versehen.
| NIST SRM-Kugeln | 60.4nm, 101.8nm, 269nm und 895nm |
| Partikelzusammensetzung | Polystyrol-Latex, PSL-Kugeln |
| Teilchendichte | 0.625 g / cm³ |
| Brechungsindex | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
| Flaschengröße | 5 ml |
| Verfallsdatum | ≤ 24 Monate |
| Zusatzstoffe | Enthält Spuren von Tensiden |
| Empfohlene Lagertemperatur | 2-8 ° C |
| Flaschengröße und Volumen | 5ml Flasche |
| PSL-Kugeln, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
|
Produkt Teilenummer |
Nenndurchmesser |
Certified Mean Peak |
Std. Dev & CV |
Feststoffgehalt |
|
AP1690 |
895 nm |
895nm ± 5 nm |
0.7 nm |
0.50% |
|
AP1691 |
269 nm |
269nm ± 4 nm |
5.3 nm |
0.50% |
|
AP1963A |
101.8 nm |
101.8nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
0.50% |
|
AP1964 |
60.4 nm |
60.39nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
0.50% |
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